膜厚儀標準片的作用和選擇使用說明
更新時間：2022-09-16 點擊次數：861次
膜厚儀標準片用于測厚儀在測金屬鍍層厚度的時候進行的標準化校準，這樣使用使得測厚儀所測的誤差值變小，對于半導體生產行業，電鍍行業使用測厚儀所造成的成本檢測起到了很重要的作用。標準片一般分為單鍍層片，雙鍍層片、多鍍層片、合金鍍層片、化學鍍層片。
膜厚儀標準片的兩大作用：
1、用來對膜厚儀工作狀態的準確性和穩定性進行校驗。在膜厚儀測試過程中對膜厚儀運行過程中，確認工作狀態。防止膜厚儀故障狀態時能時間確認。
2、用于X射線測厚儀（膜厚儀）在測金屬鍍層厚度時進行的標準化校準及建立測試檔案。也就是我們在膜厚測試中常用的標準曲線法，是測量已知厚度或組成的標準樣品，根據熒光X-射線的能量強度及相應鍍層厚度的對應關系，來得到標準曲線。之后以此標準曲線來測量未知樣品，以得到鍍層厚度或組成比率。對于PCB、五金電鍍和半導體等行業使用測厚儀來檢測品質和控制成本起到了很重要的作用。
膜厚儀標準片的使用和選擇：
厚度由X射線吸收方法或比率方法確定，則厚度標準塊的基體應與被測試樣的基體具有相同的X射線發射特性，通過比較被測試樣與校正參考標準塊的未鍍基體所選的特征輻射的強度，然后通過軟件達到對儀器的校正。
可用標準塊的單位面積厚度單位校準儀器，厚度值必須伴隨著覆蓋層材料的密度來校正。標準片應與被測試樣具有相同的覆蓋層和基體材料，但對試樣基材為合金成分的，有些儀器軟件允許標樣基材可與被測試樣基材不同，但前提是標準塊基體材料與試樣基材中的主元素相同。
膜厚儀標準片在使用時選擇適當的標準厚度塊對儀器進行示值校正，選擇一塊合適和一塊為儀器測量上限1/2的標準厚度塊作儀器高低兩端的示值校正。測量范圍分為若干檔的儀器，其示值校正應在每檔分別進行。
